電爐淬火時常見的缺陷有氧化、脫碳、變形、裂紋、過熱、過燒、硬度不足、軟點、軟斑等，其中氧化、脫碳、過熱、變形和開裂最為嚴重。產生氧化、脫碳現象的主要原因，是由于加熱介質中含有氧、二氧化碳、水蒸汽等氧化性物質，在加熱時它們與零件表面的鐵或碳發生化學反應，生成氧化鐵皮或使表面的碳燃燒而變成貧碳。
    高碳的鋼件加熱溫度過高也會使硬度不足。所以要針對性地采用合理的加熱規范與正確的操作方法(如加熱時零件之間留一定的間隙，冷卻時加以攪拌等)，就可以防止這種缺陷。組織的晶粒粗大，主要是由于加熱溫度過高而形成的。在鹽浴爐中一般用硅膠來脫氧也能得到良好的效果。硬度不足往往是出于加熱不足、保溫時間短或冷卻緩慢造成的。
    如何防止氧化、脫碳的產生呢?在高溫電爐及實驗電爐巾，有通入保護性氣體的，也有以滴入煤油、甲醇、或通入氨、氮等氣體加以保護的；更簡單的辦法是放些木柴，產生co等氣體來加以保護。目前，用涂料形式在零件表面涂以某種保護劑，同樣能有效地防止零件氧化、脫碳。
    只有嚴格掌握電爐溫度，搞好第一熱處理，才能有效地防止過熱現象。變形與開裂是熱處理最嚴重的缺陷，產生這種缺陷的根本原因是內應力過大。當內應力大于材質的屈服極限時，零件就產生塑性變形；內應力超過強度極限時，零件就發生開裂。具體地說，零件形狀不對稱、截面厚薄不均勾、原始組織不良、加熱冷卻不當、有尖棱尖角的形狀等情況都會引起零件的變形和開裂。